價(jià)格
電議
型號(hào)
MC-720
品牌
LINTEC琳得科
所在地
四川省 成都市
更新時(shí)間
2025-04-27 11:38:16
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LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-720
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-720
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。
型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制））
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
4. 科研實(shí)驗(yàn)：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *F.S. | 密封材 |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~*F.S. | 10SCCM | 50SLM | Au |
技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)
智能化升級(jí)：
集成AI預(yù)測(cè)性維護(hù)功能
5G遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化
微型化發(fā)展：
MEMS流量傳感器（芯片級(jí)集成）
適用于便攜式分析儀器
多物理場(chǎng)耦合：
流量-溫度-壓力協(xié)同控制
適應(yīng)臨界流體等特殊工況
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質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。