濟南市電子廠百級無塵車間潔凈檢測第三方檢測報告--天津中達檢測濟南分公司   　1、電子制造廠萬級潔凈室噪聲級（空態(tài)）不應過65dB(A)。2、電子制造廠潔凈室滿布比垂直流潔凈室不宜低于60，水平單向流潔凈室不宜低于40，否則會偏單向流。3、潔凈室與電子制造廠房外的靜壓差不應小于10Pa，潔凈區(qū)與不同空氣潔凈度的非潔凈區(qū)的靜壓差不應小于或大于5Pa。4、電子制造業(yè)萬級潔凈室新風量取下列兩項中較大值：(1)補償維持室內(nèi)正壓值所需的室內(nèi)排風量和新風量之和。(2)潔凈室每人每小時新風量不應少于40立方米。(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應設有新風和溫斷電保護。如果采用點加濕方式，則無需設置水保護。在寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應有防凍保護措施。

　生物安全實驗室：國制定了相關的安全規(guī)程，潔凈室檢測工程凈化設備采用生物安全隔離服和獨立供氧系統(tǒng)。廢液、廢氣統(tǒng)一凈化通過嚴密性試驗之后處理，采用密閉隔離器、負壓二次屏障系統(tǒng)，保證人身安全，并制定良好的生物安全實驗室凈化管理規(guī)定。

電子廠百級無塵車間潔凈檢測 噪聲控制： 動態(tài)檢測時，萬級無塵室內(nèi)的噪音級不得出70分貝A。 靜態(tài)檢測時，萬級亂流無塵室的噪音級不能出60分貝A。

目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時，還可達到減少建設投資、降低運行費用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象，對于新風系統(tǒng)常采用集中處理形式。

　電子制造業(yè)廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等按需要進行控制。潔凈室的照度和截面風速按設計或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴格的。其中，對濕度的要求更為嚴格。  電子無塵車間后，為電子無塵車間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過熱關閉電源維護(假如應用點增濕器，應出示沒有水維護)。嚴寒氣溫地區(qū)應是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無塵車間能夠為電子芯片的生產(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類環(huán)境下，才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。

電子廠百級無塵車間潔凈檢測  2、檢測點：根據(jù)標準，檢測凈化車間潔凈度時，檢測點應在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi)；單向流式無塵凈化車間，測點數(shù)不應少于20個，測點間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測點僅無布置；非單向流式無塵凈化車間按無塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個測點。3、關于等速采樣：等速采樣是指在檢測過程中，粒子計數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致，進入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。

若潔凈室（區(qū)）運行中已對粒子濃度、風速、靜壓差進行連續(xù)監(jiān)測，且其測試值均符合本規(guī)范要求時，的測試時間間隔可延長。具體間隔時間，可與單位洽商已安裝過濾器泄露、氣流流型目測、照度，所有潔凈度等級，建議*長時間間隔24月、溫度、相對濕度，所有潔凈度等級，建議*長時間間隔12月、自凈時間、密閉性，建議*長時間間隔＞24月、噪聲，建議*長時間間隔＞12月

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