山東省濟(jì)南市電子廠十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間潔凈檢測(cè)方法--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   電子凈化廠注意要點(diǎn)：防止灰塵、防靜電、防止負(fù)壓；集成電路生產(chǎn)（分為光掩膜、前道工序、后道工序），顯示器生產(chǎn)（分為L(zhǎng)CD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料 生產(chǎn)（單晶硅、多晶硅），光纖生產(chǎn)，制卡業(yè)，表面貼裝（SMT），分離器件生產(chǎn)（功率一、二、三級(jí)管，電容、電阻），整機(jī)組裝生產(chǎn)（機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)），自控元器件生產(chǎn)（傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)）等。微電子工業(yè)是當(dāng)前對(duì)潔凈室要求較高工業(yè)潔凈業(yè)-如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn)，同樣均有潔凈度的要求。

送風(fēng)口風(fēng)速米/秒： 1.孔板孔口3~5； 2.側(cè)送風(fēng)口： （1）貼附射流2~5； （2）非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5，對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。

電子廠十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間潔凈檢測(cè) 車(chē)間應(yīng)用：電子廠凈化工程是潔凈度等級(jí)在10千級(jí)規(guī)范左右的凈化工程生產(chǎn)車(chē)間，關(guān)鍵操縱氣體浮塵顆粒對(duì)工作中目標(biāo)的環(huán)境污染，內(nèi)部務(wù)必維持正壓力情況。

潔凈室測(cè)定的程序大致如下:風(fēng)機(jī)空吹→室內(nèi)清掃→調(diào)整風(fēng)量→裝中效過(guò)濾器→安裝高效過(guò)濾器→系統(tǒng)運(yùn)行→高效過(guò)濾器檢漏→調(diào)整風(fēng)量→調(diào)整室內(nèi)靜壓差→調(diào)整溫濕度→單相流潔凈室截面平均速度、速度不均勻的測(cè)定→室內(nèi)潔凈度測(cè)定→室內(nèi)浮游菌和沉降菌的測(cè)定→生產(chǎn)設(shè)備有關(guān)的工作和調(diào)整。

溫濕度檢測(cè)要在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。  電子工廠無(wú)塵車(chē)間越是潔凈度要求高的車(chē)間對(duì)于車(chē)間內(nèi)的溫濕度要求也更為嚴(yán)格，通常要求將車(chē)間的溫濕度控制在恒溫恒濕的標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，至于達(dá)到怎樣一個(gè)恒溫恒濕的標(biāo)準(zhǔn)就要看是什么樣的電子產(chǎn)品了。而控制車(chē)間內(nèi)的靜電也是電子無(wú)塵車(chē)間的重點(diǎn)，因?yàn)殪o電會(huì)產(chǎn)生放電現(xiàn)象，在放電的過(guò)程中可能會(huì)擊穿電子產(chǎn)品，另外靜電也會(huì)積聚灰塵，影響車(chē)間的潔凈度。這會(huì)影響產(chǎn)品的不良率。而除靜電的方法有很多種，*種是通過(guò)控制車(chē)間內(nèi)的濕度，將濕度控制在合理的范圍內(nèi)，減少靜電的產(chǎn)生。還有一個(gè)在地面安裝導(dǎo)靜電裝置，將生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)產(chǎn)生的靜電導(dǎo)出潔凈車(chē)間以實(shí)現(xiàn)除靜電的目的。

電子廠十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間潔凈檢測(cè)  目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車(chē)間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

　生物安全實(shí)驗(yàn)室：國(guó)制定了相關(guān)的安全規(guī)程，潔凈室檢測(cè)工程凈化設(shè)備采用生物安全隔離服和獨(dú)立供氧系統(tǒng)。廢液、廢氣統(tǒng)一凈化通過(guò)嚴(yán)密性試驗(yàn)之后處理，采用密閉隔離器、負(fù)壓二次屏障系統(tǒng)，保證人身安全，并制定良好的生物安全實(shí)驗(yàn)室凈化管理規(guī)定。

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