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原裝進口EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX300XA
原裝進口EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX300XA
原裝進口EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX300XA
型號 F-REX300XA
進一步提高生產(chǎn)效率,高性能和靈活的CMP設(shè)備
產(chǎn)品介紹
配備新開發(fā)的高效輸送機構(gòu)和 WPH 優(yōu)化算法。 憑借 1 張桌子、1 個頭和雙模塊系統(tǒng),Ebara 在保留高可靠性結(jié)構(gòu)的同時進一步提高了生產(chǎn)率。 采用靈活的運輸機制和進一步的交叉污染對策,有助于提高產(chǎn)量。 此外,它具有易于修改和升級的模塊化結(jié)構(gòu),因此可以在將來擴展功能時在短時間內(nèi)引入新功能。
此外,與 F-REX300X 型號相比,功耗降低了約 10%,并且減少了零件數(shù)量,從而減少了供應(yīng)鏈中的 CO2 排放量。 它支持更環(huán)保的半導(dǎo)體制造。
北崎8年,日本會社20年,專注領(lǐng)域如下:
儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設(shè)備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)