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SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計(jì) PG-2BM
SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計(jì) PG-2BM
SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計(jì) PG-2BM
真空計(jì)(Vacuum Gauge),又稱真空壓力計(jì)或真空規(guī),是一種用于測量真空系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力的儀器。其工作原理基于不同壓力范圍內(nèi)氣體分子的物理特性變化,通過傳感器將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號,*終以數(shù)字或模擬方式顯示真空度。真空計(jì)廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造、半導(dǎo)體、航空航天等領(lǐng)域,是真空技術(shù)的關(guān)鍵測量設(shè)備。
它是一種使用的皮拉尼球體覆蓋低真空范圍的皮拉尼真空計(jì),測量范圍為 0.14Pa~2.6kPa。 由于采用固態(tài)電路,即使在電源波動 (90V~110V) 的情況下也能表現(xiàn)出極其穩(wěn)定的運(yùn)行,并提供可靠的測量值。
真空計(jì)的應(yīng)用領(lǐng)域
真空計(jì)在多個行業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用:
1. 半導(dǎo)體與電子制造
用于晶圓加工、薄膜沉積、離子注入等工藝,確保高真空環(huán)境(10?? ~ 10?? Pa)的穩(wěn)定性。
在真空封裝(如MEMS傳感器)中監(jiān)測殘余氣體壓力。
2. 工業(yè)制造與材料處理
真空爐:在金屬熱處理、燒結(jié)過程中控制真空度,防止氧化。
真空鍍膜:監(jiān)測PVD(物理氣相沉積)、CVD(化學(xué)氣相沉積)設(shè)備的真空環(huán)境。
3. 科研與實(shí)驗(yàn)室
高能物理實(shí)驗(yàn)(如粒子加速器)需要高真空(<10?? Pa)環(huán)境。
空間模擬艙:模擬太空環(huán)境,測試航天器部件的真空適應(yīng)性。
4. 醫(yī)療與生物技術(shù)
冷凍電鏡(Cryo-EM)需要高真空環(huán)境以保持樣本穩(wěn)定性。
真空滅菌設(shè)備中監(jiān)測壓力,確保滅菌效果。
測量范圍 | 2×103~2×10-1Pa (2 個量程) |
---|---|
壓力單位 | 帕 |
記錄器輸出 | 滿量程 10 mV |
電源電壓 | AC100V±10% 50Hz/60Hz 8VA |
尺寸 | 寬217×深135×高100 毫米 |
質(zhì)量 數(shù)量 | 2.2 千克 |
統(tǒng)治者 | PW-2 φ15 儀表端口安裝 |
核心產(chǎn)品與技術(shù)優(yōu)勢
SATOVAC主要生產(chǎn)旋片式真空泵、干式真空泵、羅茨真空泵等系列產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏、醫(yī)療設(shè)備等高科技領(lǐng)域。其產(chǎn)品以"高真空度"、"低噪音"和"長壽命"三大特點(diǎn)著稱,采用特殊材料和精密加工工藝,確保在嚴(yán)苛工作環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定性能。