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LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100L
質量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件,MFC通過將質量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達±0.5%~±1.0%滿量程(FS)。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質流傳感器,由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。
心技術架構
傳感系統(tǒng):
熱式傳感:基于King's Law原理,采用毛細管式或旁路式設計,溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感:基于層流元件和壓差傳感器組合,適用于大流量范圍(0.1-5000SLM)
科里奧利式:直接質量測量,精度可達±0.1%讀數(shù)
溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *F.S. | 密封件 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
氣體隔膜隔離閩體及驅動裝置,極大地減小閉死容積。這些特殊設計,可以增強氣體的流通,降低污染物影響,使設備具備高澄換性,保證更長的使用壽命,也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。
關鍵性能指標
參數(shù)標準型號高性能型號
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復性±0.2% FS±0.1% FS
響應時間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創(chuàng)新,LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應商,以*的產(chǎn)品質量和*的解決方案聞名。核心技術領域
LINTEC的核心業(yè)務涵蓋三大方向:
電子材料:生產(chǎn)半導體封裝膠帶、光學薄膜、導電膠帶等,廣泛應用于智能手機、平板電腦及半導體制造,助力高精度電子元件加工。
工業(yè)膠帶:提供汽車粘接、建筑密封等高性能膠帶,以耐候性、強粘著力著稱,服務于豐田、本田等企業(yè)。
印刷與包裝材料:開發(fā)環(huán)保型標簽、裝飾膜等,兼顧美觀與功能性,適用于食品、醫(yī)藥等行業(yè)。