用于半導體生產(chǎn)工藝的高性能質(zhì)量流量控制器的EtherCAT通訊版本，符合SEMI。 EtherCAT通訊用于半導體制造設備的高速傳輸系統(tǒng)。

標配包括半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC獨創(chuàng)的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器，支持液化氣體等選配規(guī)格。

　　　　　　　　 MC-5000C

特別之處

• 精度范圍±1%S.P.

• 金屬密封

• 無塵生產(chǎn)(粒子標準監(jiān)控)

• 環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器

• EtherCAT 通信

選配規(guī)格

• 小流量 F.S.

• 液化體

• Large-flow 范圍

使用范例

EtherCAT通訊設備的統(tǒng)一化

越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通訊接口（數(shù)字I/F），用于高速控制機械臂等運輸系統(tǒng)。 EtherCAT通訊有65,536個節(jié)點，MFC的所有測量系統(tǒng)和驅(qū)動系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通訊統(tǒng)一。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。

北崎9年，日本會社20年，專注領域如下：

儀器相關：

山高SANKO（代理）、東機產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設備相關：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

北崎優(yōu)勢：

1、以下三大類前6項均為日本原廠授權代理銷售；其它為廠家項目授權代理銷售；

2、未歸類的為我司日本本社向日本原廠直接采購，可提供關單和產(chǎn)地證明。

光源類：

1、EYE巖崎——UV燈、照度計 （備庫銷售）

2、SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設備 （備庫銷售）

3、CCS晰寫速——環(huán)形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供試樣）

4、REVOX萊寶克斯——光源箱

5、SERIC索萊克——人工太陽照明燈

6、POLARION普拉瑞——強光燈

7、FUNATECH船越龍——目視檢查燈  （備庫銷售）

8、USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡

9、ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強光燈

10、YAMADA依夢達——光源 （備庫銷售）

儀器儀表類：

1、SANKO山高——膜厚儀、金屬探測儀  

2、TOKI東機產(chǎn)業(yè)——粘度計

3、SONIC索尼克——超聲波風速儀、氣體及液體流量計 （備庫銷售）

4、SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對

5、DIT東日技研——靜電消除器、離子風棒

6、SUGIYAMA杉山電機——下死點檢測儀、誤送檢測裝置 （備庫銷售）

7、IIJIMA飯島電子——酸素計、氧氣分析儀、濃度計

8、TORAY東麗——氣體分析儀

9、HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度計、輝度計、照度計  （備庫銷售）

11、KYOWA共和——應變儀、應變片、傳感器  （部份備庫銷售）

12、USHIO牛尾——照度計 （備庫銷售）

13、ORC歐阿?！斩扔?（備庫銷售）

14、AND愛安德——水分計、天平、粘度計 （備庫銷售）

15、YASKAWA安川——磁性開關 （備庫銷售）

16、RKC——熱電偶、溫控器 （備庫銷售）

17、EXCEL——聽音機 （備庫銷售）

小設備類：

1、SIBATA柴田——環(huán)境凈化設備、大流量采樣器、微型泵 （部份備庫銷售）

2、YAMATO雅馬拓——恒溫箱、干燥箱、氣氛爐

3、NEWKON新光——打孔機、鋼印機

4、MUSASHI武藏——點膠機

5、KAIJO凱捷——清洗機

6、TSUBOSAKA壺坂——對比度儀

7、EYELA東京理化---旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀

8、NIDEC尼得科——減速機

9、AKiribis雅科貝斯——加工平臺、高速直驅(qū)電機

10、OTSUKAEL大塚——光學膜厚儀、粒度儀

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